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FE-EPMAのトラブル対応


先日、理工学部2号館にあるFE-EPMAにトラブルが発生しました。
使用していた学生さんいわく、SEM像の観察中、突然画面が暗くなってしまったとのこと。
主に管理されている方が不在でしたので、保守勉強中である私が初期対応をすることになりました。

 

まず、状況を確認したところ、どうやら電子銃が落ちているようでした。
試料に電子線が照射されなければ、各種信号を試料から得ることができないため、像が観察できなくなったことは理解できます。

 

ここで、役に立ったのが昨年まとめた「停電対応マニュアル」でした。
装置納品時のマニュアルから装置の停止と立ち上げの部分をピックアップしたダイジェスト版で、昨年、停電対応作業に従事する際に作成したものです。

停電対応マニュアル

 

特にエラーメッセージが表示されていなかったので、マニュアルに基づき、電子銃の起動を行いました。
作業は順調に進み、再びSEM像が観察できるようになりました。

 

後で主管理者に聞いたところ、1か月ほど前にも同様の現象が起きていて、そのときは再起動したら元通り使えるようになったとのことでした。
ただ原因がはっきりしないため、8月末の業者による点検の際にあわせてみてもらうとのことでした。

 

今回の件を通して、保守の勉強をしたことで以前よりも装置についての理解が深まっていることを実感できました。

 

Written by mito
(2016.8.19)

Category: 材料機能技術グループ